潔凈室的凈化空調(diào)負(fù)荷由下面幾部分組成：
一、室內(nèi)負(fù)荷主要包括：
1、室內(nèi)作業(yè)人員的散熱、散濕負(fù)荷。
2、室內(nèi)照明燈具的散熱負(fù)荷。
3、潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)（墻、頂、地、門(mén)、窗）的傳熱、傳濕負(fù)荷。
4、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程的散熱、散濕負(fù)荷。
二、潔凈室新風(fēng)處理的熱、濕負(fù)荷。夏季是降溫去濕；冬季是加熱、加濕。
三、空氣循環(huán)時(shí)風(fēng)機(jī)（或FFU）的溫升和水泵的溫升負(fù)荷。
潔凈室的空調(diào)負(fù)荷特點(diǎn):
1、高級(jí)別潔凈室（100級(jí)，10級(jí)，1級(jí)）是垂直單向流潔凈室，其送風(fēng)機(jī)的風(fēng)量非常大，高達(dá)400～500次/h換氣，而且風(fēng)機(jī)的壓頭也很高，一般多在1000～1500Pa，因此風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷大。按理論計(jì)算：在集中送風(fēng)方式的系統(tǒng)中，風(fēng)機(jī)的溫升為1.5℃，*一項(xiàng)的負(fù)荷就是500～700W/m2；如果采用FFU送風(fēng)方式，風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷也要250～350W/m2。因此，風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷大是其一個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。
2、服務(wù)于微電子和光電子的高級(jí)別潔凈室因工藝排風(fēng)量大，所以新風(fēng)量也很大，新風(fēng)量一般在10～20次/h換氣；因此，處理如此多新風(fēng)的負(fù)荷大約為400～800W/m2；個(gè)別工藝的排風(fēng)量更大，固新風(fēng)負(fù)荷也還會(huì)更大。因此新風(fēng)負(fù)荷大是其第二個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。
3、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程的散熱、散濕負(fù)荷大，是高級(jí)別潔凈室的第三個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。生產(chǎn)負(fù)荷的大小是與工藝生產(chǎn)本身的性質(zhì)、生產(chǎn)設(shè)備的密閉、保溫、通風(fēng)以及水冷卻的情況有關(guān)。
4、圍護(hù)結(jié)構(gòu)的傳熱、照明燈具的散熱以及作業(yè)人員的發(fā)熱這三項(xiàng)負(fù)荷相對(duì)比較小，三項(xiàng)負(fù)荷之和還不足總空調(diào)負(fù)荷的10%（其中：照明負(fù)荷大約25～30W/m2；圍護(hù)結(jié)構(gòu)負(fù)荷大約20～30W/m2；作業(yè)人員負(fù)荷大約10～15W/m2，這是高級(jí)別潔凈室第四個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。
潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)的節(jié)能措施：
潔凈室的空調(diào)凈化系統(tǒng)節(jié)能，應(yīng)首先從分析其空調(diào)負(fù)荷特點(diǎn)入手，抓住空調(diào)負(fù)荷中的主要矛盾，才能事半功倍。高級(jí)別潔凈室空調(diào)負(fù)荷中占90%以上的負(fù)荷是：新風(fēng)負(fù)荷、風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷和工藝設(shè)備和工藝過(guò)程負(fù)荷三項(xiàng)。這是它的主要矛盾。
一、降低新風(fēng)空調(diào)負(fù)荷的節(jié)能措施
1、減少排風(fēng)量。改進(jìn)工藝和工藝設(shè)備，盡可能不排風(fēng)，少排風(fēng)。采取密閉式排風(fēng)罩在同等的排風(fēng)效果下盡量減少排風(fēng)量。
2、減少正壓漏風(fēng)量。加強(qiáng)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)的密封性，既能保持潔凈室必要的正壓值，又可減少所需的正壓漏風(fēng)量。
3、提風(fēng)空氣處理設(shè)備的效率。
二、降低風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷的節(jié)能措施
1、在確保潔凈室潔凈度的前提下，盡量減少送風(fēng)量，盡量用局部高凈化來(lái)替代全面高凈化。
2、加強(qiáng)空調(diào)設(shè)備和空調(diào)系統(tǒng)的密閉性，減少漏風(fēng)量。
3、采取凈化送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)分離的送風(fēng)方案，使90%的凈化送風(fēng)量就近循環(huán)以減少風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷。
4、采用FFU加新風(fēng)機(jī)組加干盤(pán)管的送風(fēng)方式以減少風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷。
5、提高風(fēng)機(jī)效率，采取變頻措施。
三、工藝設(shè)備和工藝過(guò)程的發(fā)熱是工藝生產(chǎn)本身的問(wèn)題，只能依靠工藝自己來(lái)解決。
四、除上述措施之外，還可采取如下措施：
1、合理選擇和確定潔凈室內(nèi)的工藝參數(shù)（溫度、濕度、潔凈度）。潔凈室的凈化空調(diào)是重點(diǎn)能耗大戶，因此在選擇和確定潔凈室的潔凈度和溫、濕度時(shí)要慎之又慎。即在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，不應(yīng)過(guò)高過(guò)嚴(yán)要求。否則，其能耗會(huì)大幅度上升。分析計(jì)算潔凈室內(nèi)溫度放寬1℃時(shí)其能耗可節(jié)省3%左右；其相對(duì)濕度放寬5%時(shí)其能耗又可節(jié)省3%左右。另外負(fù)荷計(jì)算時(shí)安全裕量不應(yīng)留有過(guò)大，否則設(shè)備的耗電會(huì)大大增加，為了今后的發(fā)展要留有動(dòng)力設(shè)備的空位。
2、優(yōu)化凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過(guò)程
凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過(guò)程的優(yōu)化對(duì)節(jié)能的效果十分明顯，優(yōu)化的目的就是減少或消除冷熱抵消現(xiàn)象和降低風(fēng)機(jī)溫升。在“潔凈手術(shù)部和醫(yī)用氣體設(shè)計(jì)與安裝”的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)圖的例題中的計(jì)算結(jié)果是這樣的：對(duì)于一級(jí)潔凈手術(shù)室（北京）夏季耗冷量，當(dāng)采用一次回風(fēng)系統(tǒng)時(shí)是60kW，而采用二次回風(fēng)系統(tǒng)時(shí)只有25kW，當(dāng)采用新風(fēng)機(jī)組深冷抽濕處理時(shí)其耗冷量只有20kW。
3、合理選擇凈化空調(diào)設(shè)備
①設(shè)計(jì)建造潔凈室時(shí)要選用高效率的凈化空調(diào)設(shè)備（冷機(jī)、風(fēng)機(jī)、水泵）。
②選擇低阻高效的過(guò)濾設(shè)備，風(fēng)機(jī)和水泵的壓頭選擇不宜過(guò)高。
③電動(dòng)設(shè)備采取變頻措施。
4、低位熱能的利用和廢熱的回收
低位熱能和廢熱回收的潛力非常大。現(xiàn)在很多專家在這方面進(jìn)行了大量研究，如：工藝?yán)鋮s水的回收和利用；噴水氣化潛熱的利用；冷凍機(jī)、空壓機(jī)廢熱的回收以及利用冷凍水和中溫水回水混合制造中溫水等等。
5、加強(qiáng)水管和風(fēng)管的保溫。
6、減少冷熱源的跑、冒、滴、漏。
7、采取熱回收，充分利用廢熱。
8、盡量利用天然能源作空調(diào)系統(tǒng)的預(yù)冷和預(yù)熱，如：太陽(yáng)能、地下水、土壤能等。
9、利用蓄冰和蓄熱等優(yōu)惠政策。