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              當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章  >  ISO14644《潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境》標(biāo)準(zhǔn)組成

              ISO14644《潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境》標(biāo)準(zhǔn)組成

              更新時間:2020-06-02  |  點擊率:2352

              文件名

              題目

              狀態(tài)

              簡介

              ISO14644-1

              通過顆粒物濃度對空氣潔凈度進(jìn)行分類

              2015

              涵蓋潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境中的空氣潔凈度分類

              ISO14644-2

              監(jiān)測通過顆粒濃度提供與空氣潔凈度相關(guān)的潔凈室性能的證據(jù)

              2015

              監(jiān)控和定期測試潔凈室或潔凈區(qū)的要求,以證明其繼續(xù)符合ISO14644-1

              ISO14644-3

              測試方法

              2005

              用于表征潔凈室和潔凈區(qū)性能的空氣顆粒潔凈度分類的測試方法

              ISO14644-4

              設(shè)計、建造和啟動

              2001

              潔凈室安裝的設(shè)計和構(gòu)造要求

              ISO14644-5

              運營

              2004

              潔凈室運行的基本要求

              ISO14644-7

              分離裝置(清潔空氣罩、手套箱、隔離器和微環(huán)境)

              2004

              分離設(shè)備的設(shè)計、構(gòu)造、安裝、測試和批準(zhǔn)的低要求

              ISO14644-8

              按化學(xué)物濃度(ACC)分類的空氣潔凈度

              2013

              涵蓋潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境中氣態(tài)分子污染物(AMC)的分類

              ISO14644-9

              通過顆粒物濃度對表面清潔度進(jìn)行分類

              2012

              通過潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境中的顆粒物濃度確定固體表面潔凈度等級的分類

              ISO14644-10

              按化學(xué)物濃度對表面清潔度進(jìn)行分類

              2013

              根據(jù)化學(xué)化合物或元素的存在情況定義潔凈室表面潔凈度的分類系統(tǒng)

              ISO14644-12

              通過納米級顆粒濃度監(jiān)測空氣潔凈度的指南

              2018

              根據(jù)懸浮納米級顆粒物濃度的空氣潔凈度的監(jiān)測

              ISO14644-13

              對表面進(jìn)行清潔以便達(dá)到規(guī)定的顆粒物和化學(xué)物潔凈度

              2017

              用清潔劑處理潔凈室表面、潔凈室設(shè)備表面和潔凈室中材料表面的特定清潔程度

              ISO14644-14

              根據(jù)懸浮顆粒物濃度評估設(shè)備使用的適用性

              2016

              設(shè)備在潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中適用性的評估方法

              ISO14644-15

              通過懸浮化學(xué)物濃度評估設(shè)備和材料的適用性

              2017

              將用于潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境中的設(shè)備和材料引起的化學(xué)物潔凈度提出要求和指南

              ISO14644-16

              提高潔凈室和凈化設(shè)備能效的實施指南

              2017(在編)

              為新建和現(xiàn)有的潔凈室、潔凈區(qū)和分離設(shè)備提供優(yōu)化能源使用和保持能源效率的指導(dǎo)和建議

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